真空測量的主力設備

工作范圍廣，在絕大多數環境下堅固耐用，適用于粗真空到中等真空水平

測量范圍為 10-2 至 10-9 mbar/torr

通常與皮拉尼真空計配合使用，以測量高真空泵系統

熱陰極真空計與冷陰極不同，它在傳感器中內置了一根熱絲來發射電子。該技術能夠測量中到到超高真空 (10-12mbar/torr)

主要類型為 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和提取型真空計 (IE 514)

提取技術能夠精確測量 10-12 mbar/torr 的極高真空