維修應注意幾個環節。即拆卸、清潔、檢驗及裝配。

    真空設備無論大小都屬于精密機械設備，這點很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲。

    清洗零件時要干凈，徹底，以便于發現問題和查出隱患。真空泵類產品與一般機械產品有較大區別，一般機械產品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手應多加小心，切記。千萬別把楞角倒去。

    檢驗是個細致活，每個細節都不要落掉，任何細微的地方都可能是問題所在，所以不能存在僥幸心理。

    不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發了才能進行裝配。真空泵油若與其他的油或溶劑或水混合會破壞其性能，影響真空泵的性能指標。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時必須換，比如油增壓泵各個接口，裝配時泵件同樣需要輕拿輕放;緊螺絲時用力要均，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣，軸封簧別擠進去，沒了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸性要求很嚴格，裝配時要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調整的關鍵是兩個8型齒輪不相碰。

    擴散泵的內壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國內生產的擴散泵主要靠電爐絲的長短來控制泵油的溫度，擴散泵油的注入量就需要考慮當地電網的實際情況來酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網的電壓低油可以減少2mm，只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量僅供參考。

    維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當然的開始動手拆卸，舊病未除又添新病，把簡單的問題復雜化了。